klayout/testdata/lefdef/masks-1/hidden/in_tech.lef

LAYER M0PO 
    TYPE MASTERSLICE ;
    WIDTH 0.02 ;
    MASK 2 ;
END M0PO
LAYER VIA0
    TYPE CUT ;
    MASK 2 ;
END VIA0
LAYER M1
    TYPE MASTERSLICE ;
    WIDTH 0.024 ;
    MASK 2 ;
END M1
LAYER VIA1
    TYPE CUT ;
    MASK 2 ;
END VIA1
LAYER M2
    TYPE MASTERSLICE ;
    WIDTH 0.03 ;
    MASK 2 ;
END M2

VIA square 
    LAYER M0PO ;
        RECT -0.08 -0.08 0.08 0.08 ;
    LAYER VIA0 ;
        RECT -0.08 -0.08 0.08 0.08 ;
    LAYER M1 ;
        RECT -0.08 -0.08 0.08 0.08 ;
END square